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发明名称 Split-phase driver for plasma etch system
摘要
申请公布号 EP0359153(B2) 申请公布日期 2003.06.04
申请号 EP19890116697 申请日期 1989.09.09
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 OGLE, JOHN;YIN, GERALD
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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