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经营范围
发明名称
Electrostatic actuator
摘要
申请公布号
EP0865151(B1)
申请公布日期
2003.05.28
申请号
EP19980301819
申请日期
1998.03.12
申请人
AGILENT TECHNOLOGIES, INC. (A DELAWARE CORPORATION)
发明人
HOEN, STORRS;TAUSSIG, CARL
分类号
H02N1/00;H02N13/00;(IPC1-7):H02N1/00
主分类号
H02N1/00
代理机构
代理人
主权项
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