发明名称 |
气体输送定量分配管 |
摘要 |
本发明提供一个气体输送定量分配管。该气体输送定量分配管包括多个轴向对齐并且套叠的管子,其中,最内侧管子容纳一种气体并沿着最内侧管子的整个长度建立均匀的托持压力;最外侧管子使得从气体输送定量分配管流出的气体均匀分布。 |
申请公布号 |
CN1109129C |
申请公布日期 |
2003.05.21 |
申请号 |
CN00108583.2 |
申请日期 |
2000.05.18 |
申请人 |
硅谷集团热系统责任有限公司 |
发明人 |
尼廷·英格尔;D·尼尔·斯托达德;姚智杰;肖恩·汉密尔顿;莉迪亚·J·扬;安东尼·德萨;弗拉基米尔·库德里亚夫采夫;克里斯托弗·皮博迪 |
分类号 |
C23C16/455;G05D7/01;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/455 |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
刘志平 |
主权项 |
1.一种用于输送气体的气体输送定量分配管,包括:细长的至少轴向对齐并套叠的一个最内侧管子和一个最外侧管子,在所述至少一个最内侧管子和套叠的最外侧管子之间具有一个有效环形空间;一排或者多排小口,所述的小口沿着所述各管子的基本长度而形成在所述的至少一个最内侧管子和一个最外侧套叠管子的每一个之上;其特征在于,形成在最内侧管子的一排或多排小口在所述的最内侧管子内并沿着最内侧管子的基本上整个长度形成一个基本上均匀的托持压力,因此在整个工作条件的范围内,促使气体沿着最外侧管子的大致整个长度并从该最外侧管子的小口向外大致均匀输送。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |