发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR VAKUUMBESCHICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69332355(T2) 申请公布日期 2003.05.15
申请号 DE19936032355T 申请日期 1993.07.20
申请人 DIELECTRIC COATING INDUSTRIES, HAYWARD 发明人 BISCHER, JR.;SMALL, JR.
分类号 C23C14/00;C23C14/02;C23C14/56;C23C16/54;G02B1/10;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
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