发明名称 |
Mechanically and thermodynamically stable amorphous carbon layers for temperature-sensitive surfaces |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002346944(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.06 |
申请号 |
AU20020346944 |
申请日期 |
2002.10.18 |
申请人 |
NTTF GMBH |
发明人 |
UDO HEINRICH GRABOWY;HEINZ WERNER BUSCH |
分类号 |
C23C16/26;C23C16/513;(IPC1-7):C23C16/26;A61L27/08;A61L29/10;A61L33/02 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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