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发明名称 METHOD OF OPERATING A PARTICLE-OPTICAL APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0883891(B1) 申请公布日期 2003.04.23
申请号 EP19970909532 申请日期 1997.11.06
申请人 FEI COMPANY 发明人 KRIJN, MARCELLINUS, PETRUS, CAROLUS, MICHAEL;HENSTRA, ALEXANDER
分类号 H01L21/027;H01J37/153;H01J37/141;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/141 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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