| 发明名称 |
THIN FILM SENSOR ARRAY FOR THE DETECTION OF GASES AND A METHOD OF MAKING |
| 摘要 |
A gas sensor (10) having multiple deposited metal layers (14, 16, 18, 20, 22, 24, 26). |
| 申请公布号 |
WO02082045(A3) |
申请公布日期 |
2003.04.17 |
| 申请号 |
WO2002US10598 |
申请日期 |
2002.04.05 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
DIMEO, FRANK, JR.;BAUM, THOMAS, H. |
| 分类号 |
G01N27/12;G01N21/59;G01N21/75;G01N21/78;G01N27/04;G01N27/22;G01N33/00 |
主分类号 |
G01N27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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