| 发明名称 | 防止电弧产生的静电卡盘 | ||
| 摘要 | 一种静电卡盘包括：金属板，位于金属板上的介电层，介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体注入孔；通过起模针孔上下移动的起模针；位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体；以及位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体。 | ||
| 申请公布号 | CN1407613A | 申请公布日期 | 2003.04.02 |
| 申请号 | CN02132244.9 | 申请日期 | 2002.09.03 |
| 申请人 | 周星工程有限公司 | 发明人 | 权奇清;边洪植;李承原;金洪;韩淳锡;高富珍;金祯植 |
| 分类号 | H01L21/68;B25B11/00 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 隆天国际专利商标代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;陈红 |
| 主权项 | 1.一种静电卡盘，其包括：金属板；位于金属板上的介电层，介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体的注入孔；通过起模针孔上下移动的起模针；位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体；以及位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||