一种近场扫描光学显微镜定位扫描成像方法

摘要

一种近场扫描光学显微镜定位扫描成像方法，属于扫描探针显微镜技术领域。借助传统光学显微装置，并使用微米尺度发光点作为定位参考点，通过微调平台在显微成像装置下观测并精确测量参考发光点中心和样品目标区域的相对位移，调节光学探针到参考发光点中心处，进一步根据参考发光点中心和样品目标区域的相对位移，调节光学探针到样品目标区域实施扫描成像。用于近场扫描光学显微镜光学探针在样品表面定位，可通过显微镜大范围搜索关心的目标区域，再调整探针到目标区域扫描成像，实现NSOM定位扫描成像，定位精度可达到1μm，且结构简单。

主权项

1.一种近场扫描光学显微镜定位扫描成像方法，其特征是：借助传统光学显微装置，并使用微米尺度发光点作为定位参考点，通过微调平台在显微成像装置下观测并精确测量参考发光点中心和样品目标区域的相对位移，调节光学探针到参考发光点中心处，进一步根据参考发光点中心和样品目标区域的相对位移，调节光学探针到样品目标区域实施扫描成像。