Verfahren und Vorrichtung zum Trimmen von Sensoren mit schwingenden Strukturen

摘要

Es wird ein Verfahren zum Trimmen von Sensoren mit schwingenden Strukturen angegeben, bei dem ein Sensorelement (14), das eine schwingfähige Struktur zur Erfassung einer Messgröße aufweist, mit einem Laserstrahl (17a) bearbeitet, um gezielt Masse abzutragen, wobei mindestens eine Resonanzfrequenz des Sensorelements (14) und/oder eine Unwucht des Sensorelements (14) abgeglichen wird. Während des Abtragens der Masse schwingt das Sensorelement und es wird eine Zustandsänderung instantan gemessen. Zur Erzeugung des Laserstrahls (17a) wird ein Femtosekundenlaser (17) verwendet. Eine Vorrichtung (10) zum Trimmen von Sensoren hat eine Messeinrichtung (13) zur Bestimmung einer Resonanzfrequenz und/oder einer Unwucht des Sensorelements (14), einen Laser (17) mit einer Steuereinrichtung (18) zur gezielten Abtragung von Masse des Sensorelements, und eine Vergleichseinrichtung, um einen Messwert, der die aktuelle Resonanzfrequenz und/oder die aktuelle Unwucht repräsentiert, mit einem vorgegebenen Wert zu vergleichen.