发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung aus Silizium
摘要
申请公布号 DE1128924(B) 申请公布日期 1962.05.03
申请号 DE1959S066475 申请日期 1959.12.30
申请人 SIEMENS-SCHUCKERTWERKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 EMEIS DIPL.-PHYS. DR.-ING. REIMER
分类号 C23C26/00;H01L21/00;H01L21/60 主分类号 C23C26/00
代理机构 代理人
主权项
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