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发明名称 A microelectromechanical device having a stiffened support beam, and methods of forming stiffened support beams in mems
摘要
申请公布号 AU2002321901(A1) 申请公布日期 2003.02.24
申请号 AU20020321901 申请日期 2002.08.02
申请人 HEWLETT-PACKARD COMPANY 发明人 THOMAS W IVES
分类号 B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;(IPC1-7):B81B3/00;G01C19/56 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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