发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ROTATING A WAFER
摘要
申请公布号 EP1159755(B1) 申请公布日期 2003.02.19
申请号 EP20000909799 申请日期 2000.03.08
申请人 ASM INTERNATIONAL N.V.;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 KUZNETSOV, VLADIMIR, IVANOVICH;RADELAAR, SIJBRAND;VAN DER SANDEN, JACOBUS, CORNELIS, GERARDUS;RUIJL, THEO, ANJES, MARIA
分类号 B65G49/07;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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