发明名称 |
用化学反应生成质粒的装置和方法 |
摘要 |
一种由辐射束引起气相化学反应而产生质粒,尤其是纳米质粒装置。辐射束包括电磁辐射或激光束。该装置包括一反应室(102)和一导入辐射的窗(242)和狭长的一反应物入口(164)。所说的反应室结构与狭长反应物入口相一致,可在反应物气流两侧引入保护气体以惰性气体罩防止反应气体和产品质粒冲击室壁和光学部件。该装置还包括一高温计(302)以监测反应物的热发射,一质粒尺寸分析器(400)和一计算机(108),有一压力传感器(304)的反馈回路可用以维持反应室的压力。 |
申请公布号 |
CN1100601C |
申请公布日期 |
2003.02.05 |
申请号 |
CN98800199.3 |
申请日期 |
1998.02.06 |
申请人 |
美商纳克公司 |
发明人 |
毕向欣;神部信幸 |
分类号 |
B01J12/00;B01J12/02;B01J19/08;B01J19/12 |
主分类号 |
B01J12/00 |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
张祥龄 |
主权项 |
1、一种装置,其包括:(a)具有腔室部分的反应室,所述腔室部分具有空腔;(b)以主轴和副轴为特征的狭长反应物入口,其用于将反应物气流导引到反应室内;及(c)位于所述空腔内的质粒流,所述反应室制成与所述狭长反应物入口的形状一致并具有辐射束,该辐射束沿着与所述狭长反应物入口的主轴相应的辐射路径投射穿过所述反应室并横切反应物气流。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |