| 摘要 |
<p>Лазерът намира приложение в лазерни системи, използвани за обработка на материалите в микроелектрониката. Той генерира в ултравиолетовия спектрален диапазон на йонните линии на злато в положителен стълб на импулсен надлъжен разряд, в смес от буференгаз хелий и пари на злато. Ултравиолетовият йонензлатен лазер се състои от газоразрядна тръба с поне два електрода, с краища, срязани под ъгъл на Брюстер, на които са залепени кварцови пластини. Тръбата е поставена в оптичен резонатор, съставен от лазерни огледала - външни или вътрешни, за ултравиолетовата област. Налягането на златните пари е над 0,01 Torr. Газоразрядната тръба е свързана към генератор на възбуждащи импулси с продължителност над 50 ns и амплитуда над 1 А и 1 kV.</p> |
