| 发明名称 | 用于低压微型器件微型壳体的微离子泵 | ||
| 摘要 | 提供一种微离子泵(308、310、316、318)和制造微离子泵的方法，该位置里边可以包含在低压微型器件微型壳体(306)内。微离子泵包括隔开恒定距离的两个电荷板(308、310)，并且这两个电荷板由公知微型芯片制造技术制造，为了产生电离气体分子的垂直电场，在两个电荷板之间施加电压电位差。得到的带正电的离子被吸收到电荷板上，由此从低压微型壳体内除去气体分子并保持包围密封的微型器件(302)的低压环境。 | ||
| 申请公布号 | CN1390774A | 申请公布日期 | 2003.01.15 |
| 申请号 | CN02122757.8 | 申请日期 | 2002.06.11 |
| 申请人 | 惠普公司 | 发明人 | D·W·舒尔特;T·E·麦马洪;D·J·爱德华兹 |
| 分类号 | B81B7/00;H01L49/00;G01L9/00 | 主分类号 | B81B7/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 罗朋;王忠忠 |
| 主权项 | 1、一种包含在低压微型壳体内的微离子泵(308、310、316、318)，该微离子泵包括：第一电荷板(308)；与第一电荷板隔开一段距离的第二电荷板(310)；和耦连到第一电荷板和第二电荷板的电路(316、318)，在第一电荷板和第二电荷板之间建立电压电位差，该电压电位差感应电场，低压微电子器件内的气体分子与在电场中加速的电子碰撞，产生在与电子相反的方向加速的离子，以便离子被吸收到第一和第二电荷板的更负的一个上。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||