发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES DE CARBONE APTES A EMETTRE DES ELECTRONS, PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
摘要
申请公布号 FR2811686(B1) 申请公布日期 2003.01.10
申请号 FR20000009309 申请日期 2000.07.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 SEMERIA MARIE NOELLE;BAYLET JACQUES;FOURNIER ADELINE
分类号 C23C16/26;C23C16/509;(IPC1-7):C23C16/505;C23C16/56;C23C16/02;C01B31/02;C01B31/04 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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