发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE COUCHES DE CARBONE APTES A EMETTRE DES ELECTRONS, PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2811686(B1) |
申请公布日期 |
2003.01.10 |
申请号 |
FR20000009309 |
申请日期 |
2000.07.17 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
SEMERIA MARIE NOELLE;BAYLET JACQUES;FOURNIER ADELINE |
分类号 |
C23C16/26;C23C16/509;(IPC1-7):C23C16/505;C23C16/56;C23C16/02;C01B31/02;C01B31/04 |
主分类号 |
C23C16/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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