| 发明名称 | 光敏性树脂组合物,利用该光敏性树脂组合物制成的光敏性元件,制作防蚀图形的方法,防蚀图形和防蚀图形的叠层基板 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种光敏树脂组合物,该组合物包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)阻燃剂,其中阻燃剂化合物中的卤原子或锑原子的含量为5重量%以下;以及,利用该光敏树脂组合物的光敏性元件、防蚀图案的制造方法、防蚀性图案、和、防蚀性图案的叠层基板。 | ||
| 申请公布号 | CN1390318A | 申请公布日期 | 2003.01.08 |
| 申请号 | CN00815531.3 | 申请日期 | 2000.10.23 |
| 申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 佐藤邦明;沓名贵彦;吉野利纯;平山隆雄;鹈沢干夫 |
| 分类号 | G03F7/004;C08L61/34;C08L61/28;C08L101/12 | 主分类号 | G03F7/004 |
| 代理机构 | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人 | 皋吉甫 |
| 主权项 | 1.一种光敏性树脂组合物，其特征是包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)阻燃剂，其中阻燃剂化合物中的卤原子或锑原子的含量为5重量％以下。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||