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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Plasmaätzelektrode
摘要
申请公布号 DE69717014(D1) 申请公布日期 2002.12.19
申请号 DE1997617014 申请日期 1997.06.27
申请人 NISSHINBO INDUSTRIES, INC. 发明人 SAITO, KAZUO;MOCHIZUKI, YASUSHI;YAMAGUCHI, AKIRA
分类号 C30B29/06;C23F4/00;C30B33/12;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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