发明名称 PROCEDIMIENTO PARA LA FABRICACION DE UN DISPOSITIVO MICROMECANICO.
摘要 Procedimiento para la fabricación de un dispositivo micromecánico (100; 200; 300; 400; 600; 700) con las etapas: preparación de un substrato (10; 710) con una región de anclaje (20; 120; 220; 320; 325; 420; 425; 620; 755), formación de una capa de sacrificio (25) sobre el substrato (10; 710) dejando libre la región de anclaje (20; 120; 220; 320; 325; 420, 425; 620; 755); deposición de una capa adhesiva (30) sobre la capa de sacrificio (25) y la región de anclaje (20; 120; 220; 320, 325; 420, 425; 755); formación de una máscara (40, 50) sobre la capa adhesiva (30); deposición de una capa galvánica (35) sobre la región no enmascarada de la capa adhesiva (30); y retirada de la máscara (40, 50) y de la capa de sacrificio (25).
申请公布号 ES2178303(T3) 申请公布日期 2002.12.16
申请号 ES19980965594T 申请日期 1998.12.01
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 HIRTREITER, JOSEF;ELSNER, BERNHARD
分类号 B81C1/00;C23C18/31;C23F1/02;G02B26/08;(IPC1-7):C23C18/06;C23C16/04;C23C14/04 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
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