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发明名称
摘要
申请公布号	JP3358492(B2)	申请公布日期	2002.12.16
申请号	JP19970109865	申请日期	1997.04.25
申请人		发明人
分类号	G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/3193;G11C29/56;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
主权项
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