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发明名称 VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER MIKROMECHANISCHEN STRUKTUR FÜR EIN MIKRO-ELEKTROMECHANISCHES ELEMENT
摘要
申请公布号 DE59903363(D1) 申请公布日期 2002.12.12
申请号 DE19995003363 申请日期 1999.09.29
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 SEITZ, STEFAN;HOEFTER, LEONHARD;KRUCKOW, JUERGEN;NEUMEIER, KARL;BOLLMANN, DIETER
分类号 G01L9/06;G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/06
代理机构 代理人
主权项
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