用于回收磨料的设备

摘要

一种用于从使用基于硅石的磨料液的CMP过程所排放的废液中回收磨料的设备。该设备包括一个薄膜分离装置,可将CMP过程所排放的废液注入到该薄膜分离装置中,还包括一个洗涤装置,通过该洗涤装置用水来洗涤通过薄膜分离装置所获得的浓缩磨料液,还包括一个调整装置,通过该调整装置来调整从洗涤装置获得的浓缩磨料液的pH值和浓度。该设备还包括一个前过滤装置,用于除去粗颗粒,该前过滤装置位于薄膜分离装置之前或之后,以及一个后过滤装置,该后过滤装置位于调整装置之后。磨料颗粒可以有效地从半导体制造工厂的CMP过程所排放的废液中回收并加以再利用。

主权项

1.一种用于从使用基于硅石的磨料液的CMP过程所排放的废液中回收磨料的设备，该设备包括一个薄膜分离装置，将CMP过程所排放的废液注入到该薄膜分离装置中，还包括一个洗涤装置，通过该洗涤装置用水来洗涤通过薄膜分离装置所获得的浓缩磨料液，还包括一个调整装置，通过该调整装置来调整从洗涤装置获得的浓缩磨料液的pH值。