| 发明名称 |
APPARATUS FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING TRANSFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2002353286(A) |
申请公布日期 |
2002.12.06 |
| 申请号 |
JP20010152054 |
申请日期 |
2001.05.22 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SATAKE SHOJIRO;YOSHIHARA KUNIO;KIYOHARA MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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