用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统

摘要

本发明公开了一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统。它具有恒温腔,恒温腔由冷热驱动器控制,在恒温腔内设有轨导,轨导两侧设有驱动绕组,下端设有悬浮磁钢,在导轨上设有驱动装置,在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢,在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体、励磁线圈、磁极铁心,在驱动装置两侧还设有力传感器,上端设有温度传感器,在导轨下端设有温度传感器。本发明的优点是:1)在动静态摩擦系数不变的情况下,能够较大减小动静态摩擦力,从而抑制因动静态摩擦力不同所引起的振荡。2)即使突然失去电流,也不会完全失去吸浮力并造成冲击而影响驱动器及导轨的精度。3)稳定性好。4)可控性好。

主权项

1.一种用于超精密加工的常导半吸浮型磁悬浮驱动系统，其特征在于它具有恒温腔(2)，恒温腔由冷热驱动器(1)控制，在恒温腔内设有轨导(13)，轨导(13)两侧设有驱动绕组(5)，下端设有悬浮磁钢(12)，在导轨上设有驱动装置(3)，在驱动装置两内侧设有与轨道驱动绕组相对应的导向及驱动磁钢(6)，在驱动装置下端设有与导轨下端的悬浮磁钢相对应的永磁体(7)、励磁线圈(8)、磁极铁心(9)，在驱动装置两侧还设有力传感器(11)，上端设有温度传感器(4)，在导轨下端设有温度传感器(10)。