发明名称 |
Method of determining resistivity of a thin layer |
摘要 |
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申请公布号 |
US3416078(A) |
申请公布日期 |
1968.12.10 |
申请号 |
US19650470377 |
申请日期 |
1965.07.08 |
申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
BONCUK RICHARD J.;JR. ALBERT E. OZIAS, |
分类号 |
G01N27/04;G01R27/20;G01R31/26 |
主分类号 |
G01N27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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