| 摘要 |
초전도성 박막과 같은 다성분 박막 형성용 장치는 적어도 하나의 기판을 지탱하기 위한 기판홀더 104 및 증착/반응 용기를 포함한다. 증착/반응 용기 102는 적어도 세 개의 구역들 114를 구비하는데, 각 구역은 벽 120에 의해 인접한 구역들로부터 분리되어 있다. 상기 구역들에는, 각자 적어도 하나의 기판 상에 증착물질 126을 증착하도록 형상화 및 배열되어 있는 적어도 두 개의 증착구역 116, 및 증착물질을 반응물과 반응시키기 위한 적어도 하나의 반응구역 118이 포함된다. 상기 장치는 적어도 하나의 기판을 다수 개의 구역들을 순차적으로 관통해 회전시켜 그 기판 상에 박막을 형성하도록 형상화 및 배열되어 있다. 상기 장치의 일부 구현예에서, 증착/반응 용기는 교호하는 동일한 갯수의 증착구역들 및 반응구역들을 포함한다. |
