| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft insbesondere ein Halbleiterbauelement, wie insbesondere ein mikromechanischer Drucksensor (200), mit einer Membranelektrode (206), einem unter der Membran befindlichen Hohlraum (208) und einer unter der Membran befindlichen Bodenelektrode (202, 203). Um die Zuverlässigkeit des Halbleiterbauelements zu erhöhen, ist erfindungsgemäss insbesondere eine aus einer ersten und einer zweiten Elektrode (202, 203) bestehende Bodenelektrode vorgesehen, wobei die zweite Elektrode (203) die erste Elektrode (202) weitgehend umschliesst.</p> |
