发明名称 MIKROWELLENTRANSISTOR MIT FAST SELBSTJUSTIERTER STRUKTUR UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE69807877(D1) 申请公布日期 2002.10.17
申请号 DE19986007877 申请日期 1998.06.10
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS;COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PARIS 发明人 CHANTRE, ALAIN;DU PORT DE PONCHARA, JEAN
分类号 H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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