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发明名称 ION IMPLANTATION ION SOURCE
摘要
申请公布号 EP1245036(A1) 申请公布日期 2002.10.02
申请号 EP20000988056 申请日期 2000.12.13
申请人 SEMEQUIP, INC. 发明人 HORSKY, THOMAS, N.;WILLIAMS, JOHN N.
分类号 C23C14/48;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J3/02 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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