| 摘要 |
A találmány vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés (100)optikai vetítőrendszerhez M×N tükörelemmel (101), ahol M és N egészszámok, és ahol a vékonyréteggel működtetett tükörelemek (101) bimorfszerkezetűek. Az elrendezésnek (100) M×N darab csatlakozókapocsból(124) álló elrendezéssel és M×N darab tranzisztorból állóelrendezéssel rendelkező alapréteget (122) tartalmazó aktív mátrixa(120) van felső felülettel, és van továbbá M×N darabműködtetőszerkezetből (111) álló elrendezése, amelyműködtetőszerkezeteknek (111) van első vége és második vége, éstartalmaznak második előfeszítő elektródaként funkcionáló másodikvékonyréteg elektródát (165), alsó elmozdulást létrehozó tagot (185)felső és alsó felülettel, jelelektródaként funkcionáló közbensővékonyréteg elektródát (135), felső elmozdulást létrehozó tagot (175)felső és alsó felülettel, valamint tükörként és első előfeszítőelektródaként funkcionáló első vékonyréteg elektródát (155), ahol afelső és az alsó elmozdulást létrehozó tagok (175, 185) egymástól aközbenső vékonyréteg elektródával (135) el vannak választva, az elsővékonyréteg elektróda (155) a felső elmozdulást létrehozó tag (175)felső felületén van elhelyezve, a második vékonyréteg elektróda (165)az alsó elmozdulást létrehozó tag (185) alsó felületén van elhelyezve,az egyes közbenső vékonyréteg elektródák (135) az egyescsatlakozókapcsokon keresztül (124) az egyes tranzisztorokhoz vannakcsatlakoztatva, a működtetőszerkezetek (111) első vége pedig az aktívmátrix (120) felső felületére van csatlakoztatva a bimorf szerkezetű,vékonyréteggel működtetett tükörelemek (101) kialakítására. Atalálmány ezenkívül eljárás optikai vetítőrendszerhez való,vékonyréteggel működtetett M×N tükörelemet (101) tartalmazó elrendezés(100) előállítására. ŕ |
