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发明名称 PLASMA FOCUS LIGHT SOURCE WITH IMPROVED PULSE POWER SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1232517(A1) 申请公布日期 2002.08.21
申请号 EP20000976672 申请日期 2000.10.26
申请人 CYMER, INC.;BIRX, DEBORAH E.F. 发明人 PARTLO, WILLIAM, N.;FOMENKOV, IGOR, V.;OLIVER, I., ROGER;NESS, RICHARD, M.;BIRX, DANIEL, L. DI
分类号 G21K5/00;H01J35/20;G03F7/20;G21K5/02;H01L21/027;H05G2/00;H05H1/06;(IPC1-7):H01J35/20;H01S3/00;H01S3/22 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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