发明名称 RUTHENIUM FILM AND RUTHENIUM OXIDE FILM, AND METHOD FOR FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 KR20020062762(A) 申请公布日期 2002.07.29
申请号 KR1020027007761 申请日期 2002.06.17
申请人 发明人
分类号 C07F15/00 主分类号 C07F15/00
代理机构 代理人
主权项
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