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发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE TRAITEMENT DU SUBSTRAT D'UN CIRCUIT INTEGRE OU D'UN PRODUIT ANALOGUE EN COURS DE FABRICATION
摘要
申请公布号 FR2808120(B1) 申请公布日期 2002.07.26
申请号 FR20000005087 申请日期 2000.04.20
申请人 KARL SUSS FRANCE 发明人 CAVAZZA GILBERT
分类号 H01L21/304;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00;B08B3/12 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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