发明名称 | 激光修补装置 | ||
摘要 | 在本发明的激光修补装置中,CCD照相机(11)拍摄作为被检查对象的玻璃基板(2)以生成图像信息。图像处理部(12)从图像信息生成缺陷判定信息,根据该缺陷判定信息,决定照射激光时的照射条件。修补用光源(14)根据从图像处理部(12)所输出的照射条件的信息,设定激光的能量等,出射用于修补玻璃基板(2)的缺陷部的激光(r)。DMD单元(16)对该激光进行整形。 | ||
申请公布号 | CN1904676A | 申请公布日期 | 2007.01.31 |
申请号 | CN200610106454.2 | 申请日期 | 2006.07.24 |
申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 堀内一仁 |
分类号 | G02F1/13(2006.01) | 主分类号 | G02F1/13(2006.01) |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄纶伟 |
主权项 | 1.一种激光修补装置,对被检查对象上的修正对象区域照射从激光光源所出射的激光,其特征在于,具有:摄像单元,其拍摄所述被检查对象以生成图像信息;图像处理单元,其从所述摄像单元所生成的所述图像信息,生成缺陷判定信息,根据所述缺陷判定信息,决定照射所述激光时的照射条件;激光整形单元,其根据所述图像处理单元所决定的所述照射条件,对所述激光进行整形;以及照射光学系统,其对所述修正对象区域照射整形后的所述激光。 | ||
地址 | 日本东京 |