发明名称 FOCUS RING, PLASMA ETCHING APPARATUS AND PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100686763(B1) 申请公布日期 2007.02.26
申请号 KR20050104040 申请日期 2005.11.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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