| 发明名称 | 小片接合设备的载片台 | ||
| 摘要 | 本发明提供的小片接合设备,为了使目标小片移动到拾取位置,通过转动和沿一直线轴移动来运动载片台,这样,与沿二正交直线轴运动来实现这一运动的现有技术设备相比,减少了设备占的运动空间在本发明的一个实施例中,还可提供沿第二根正交轴线移动,从而用户可选择将目标小片移动到拾取位置的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1356721A | 申请公布日期 | 2002.07.03 |
| 申请号 | CN01140148.6 | 申请日期 | 2001.11.27 |
| 申请人 | 先进自动器材有限公司 | 发明人 | 刘少荣;区玉璋 |
| 分类号 | H01L21/50;H01L21/68 | 主分类号 | H01L21/50 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程伟 |
| 主权项 | 1.小片接合设备，包括一载片台，拾取装置和载片台运动装置，载片台用于支承由许多小片组成的园片，拾取装置用于从拾取位置上拾取小片并将此小片运送到接合位置，而运动装置使载片台运动，从而将所选定的小片移动到拾取位置，其中所说载片台的运动装置包括转动该载片台的装置和使该载片台沿一轴线移动的装置。 | ||
| 地址 | 香港葵涌工业街 | ||