磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法及磁盘用玻璃基板研磨装置

摘要

本发明提供能提高玻璃基板内周端面的研磨精度、避免热不平度故障的磁盘用玻璃基板的制造方法。本发明的磁盘用玻璃基板制造方法，研磨将若干玻璃基板(20)叠置而成的圆筒形被研磨体(12)的内周端面。用相同的压力，使配置在具有旋转轴的内周研磨部的该旋转轴周围的若干个研磨布与被研磨体的内周端面(116)接触，把研磨液供给到被研磨体的内周端面与内周研磨部之间，使内周研磨部和被研磨体以旋转轴为中心相对转动或在旋转轴方向移动，这样，研磨被研磨体的内周端面。

主权项

1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法，研磨由若干个中心形成有内孔的圆盘状玻璃基板叠置而成的圆筒形被研磨体的内周端面；其特征在于，用相同的压力，把若干个配置在具有旋转轴的内周研磨部的该旋转轴周围的研磨布，压接在上述被研磨体的内周端面上；把研磨液供给到上述被研磨体的内周端面与上述内周研磨部之间；使上述内周研磨部和被研磨体以上述旋转轴为中心相对地转动或在该旋转轴方向相对地移动，从而研磨上述被研磨体的内周端面。