| 主权项 |
1.一种用以支撑被溅镀晶圆之马达总成之安装辅助工具,用以安装一马达总成至一溅镀用机台,其中该马达总成具有复数个第一螺孔,且该溅镀用机台具有与该等第一螺孔对应的复数个第二螺孔,而上述安装辅助工具包括:复数个锁附构件,具有均一尺寸,用以分别将该等第一螺孔与该等对应的第二螺孔对齐;以及复数个支承构件,分别设置于该等锁附构件上,用以支承其第一螺孔与该等第二螺孔对齐的该马达总成。2.如申请专利范围第1项所述的用以支撑被溅镀晶圆之马达总成之安装辅助工具,其中该等锁附构件分别为一圆柱形螺柱,且具有均一直径。3.如申请专利范围第2项所述的用以支撑被溅镀晶圆之马达总成之安装辅助工具,其中该等锁附构件分别具有至少一穿孔,分别用以供该等支承构件通过。4.如申请专利范围第3项所述的用以支撑被溅镀晶圆之马达总成之安装辅助工具,其中该等锁附构件在其两端分别设有一螺牙部。5.一种利用申请专利范围第1项所述之安装辅助工具之安装方法,包括:(a)将该马达总成放置于该溅镀用机台附近;(b)利用该等锁附构件分别依序穿过部分的该等第一螺孔、部分的该等第二螺孔且与其螺合,使其余的该等第一螺孔分别与其余的该等第二螺孔对齐;(c)将该等支承构件分别穿过该等锁附构件;(d)提供复数个马达总成之原始螺柱;(e)将该等原始螺柱分别依序穿过其余的该等第一螺孔、其余的该等第二螺孔且与其螺合;以及(f)将该等锁附构件从该马达总成拆下,且以该等原始螺柱取代,即完成该马达总成与该溅镀用机台间之安装。图式简单说明:第1a图系显示一般溅镀用机台之示意图;第1b图系显示贱镀用机台与马达总成间之示意图;第1c图系显示原始螺柱之示意图;第2a图系显示本发明之锁附构件之示意图;以及第2b图系显示本发明之用以支撑被溅镀晶圆之马达总成之安装辅助工具之示意图。 |
