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发明名称
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申请公布号 JP2002514007(A) 申请公布日期 2002.05.14
申请号 JP20000547626 申请日期 1999.05.04
申请人 发明人
分类号 F21V5/00;F21V7/00;F21V13/04;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/00;G21K5/02;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 F21V5/00
代理机构 代理人
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