| 发明名称 | 被膜形成方法以及叶片式压缩机用叶片 | ||
| 摘要 | 一种被膜形成方法,具有在磁控溅射装置中在基材上形成铬层的前工序和在电弧式离子镀装置中把基材的温度保持在100－200℃并在所述Cr层上形成CrN层的后工序。利用这种方法基材的材质不用限定在特定的材质。 | ||
| 申请公布号 | CN1348019A | 申请公布日期 | 2002.05.08 |
| 申请号 | CN01115822.0 | 申请日期 | 2001.05.08 |
| 申请人 | 株式会社东研热技 | 发明人 | 畠中喜代治;大森直之 |
| 分类号 | C23C14/35 | 主分类号 | C23C14/35 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1.一种被膜形成方法，其特征在于具有在磁控溅射装置中在基材上形成铬层的前工序和在电弧式离子镀装置中把基材的温度保持在100-200℃并在所述铬层上形成氮化铬层的后工序。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||