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<p>본 발명은 도파로열 격자를 구비한 파장분할 다중/역다중화기에 있어서, 반도체 기판과, 상기 반도체 기판 상에 형성되며 광민감성을 가지는 도파로열 격자를 구비한 칩을 제조하는 제1과정과; 상기 제1과정에서 제조된 칩 상에 소정의 중심각을 가지는 역삼각형 모양의 슬롯을 구비하는 마스크를 설치하고 상기 슬롯을 통해 상기 도파로열 격자의 소정 부위에 자외선을 조사하는 제2과정을 포함하는 평면 도파로열 격자를 구비한 파장분할 다중/역다중화기의 중심파장 조절 방법을 제공한다.</p> |
