| 发明名称 | 致动器单元 | ||
| 摘要 | 一种用于微机电装置的致动器单元,包括一个可移动臂,它至少部分地由钛铝氮化物合成物所构成。这种合成物有很高的氧化温度,能经受致动器单元在短时间内产生的高温。在一个实施例中,该致动器单元在喷墨打印机中构成热弯曲致动器部件。 | ||
| 申请公布号 | CN1347386A | 申请公布日期 | 2002.05.01 |
| 申请号 | CN00806366.4 | 申请日期 | 2000.04.20 |
| 申请人 | 西尔弗布鲁克研究有限公司 | 发明人 | K·西尔弗布鲁克 |
| 分类号 | B81B3/00;B41J2/045 | 主分类号 | B81B3/00 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沙捷 |
| 主权项 | 1.一种构成微机电装置一部分的致动器单元，它包括一个在一端连接到基底的可移动臂，并且，它至少部分地由钛铝氮化物合成物所构成。 | ||
| 地址 | 澳大利亚新南威尔士州 | ||