发明名称 METHOD FOR PRODUCING A SEMICONDUCTOR MEMORY COMPONENT
摘要
申请公布号 EP1198828(A1) 申请公布日期 2002.04.24
申请号 EP20000945635 申请日期 2000.06.09
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 ENGELHARDT, MANFRED;WEINRICH, VOLKER;KREUPL, FRANZ;SCHIELE, MANUELA
分类号 H01L27/105;H01L21/02;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
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