Verfahren zur Herstellung eines Leitermusters einer integrierten Schaltungshalbleiteranordnung,申请号DE19906033802T-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zur Herstellung eines Leitermusters einer integrierten Schaltungshalbleiteranordnung
摘要
申请公布号	DE69033802(T2)	申请公布日期	2002.04.04
申请号	DE19906033802T	申请日期	1990.11.07
申请人	KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI	发明人	ABE, MASAHIRO;MASE, YASUKAZU;YAMAMOTO, TOMIE
分类号	H01L21/3205;H01L23/485;H01L23/52;H01L23/522;H01L23/528;(IPC1-7):H01L23/485;H01L21/60	主分类号	H01L21/3205
代理机构		代理人
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