| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM VERBESSERN DER ÄTZGLEICHFÖRMIGKEIT WÄHREND EINES NASSÄTZENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ATA197098(A) |
申请公布日期 |
2002.03.15 |
| 申请号 |
AT19980001970 |
申请日期 |
1998.11.24 |
| 申请人 |
PROMOS TECHNOLOGIES INC.;MOSEL VITELIC INC.;SIEMENS AG |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/311 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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