| 发明名称 |
Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4109018(C2) |
申请公布日期 |
2002.02.28 |
| 申请号 |
DE19914109018 |
申请日期 |
1991.03.20 |
| 申请人 |
UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH |
发明人 |
LATZ, RUDOLF DR. |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/35;C23C14/08 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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