发明名称 SUSZEPTOR FÜR VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEM ZÜCHTEN VON OBJEKTEN UND SOLCHE VORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE69709955(D1) 申请公布日期 2002.02.28
申请号 DE19976009955 申请日期 1997.02.21
申请人 ABB RESEARCH LTD., ZUERICH 发明人 KORDINA, OLLE;FORNELL, JAN-OLOV;BERGE, RUNE;NILSSON, ROGER
分类号 H01L21/205;C23C16/32;C23C16/34;C30B25/00;C30B25/12;C30B29/36;C30B29/38;(IPC1-7):C23C16/32 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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