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发明名称
SUSZEPTOR FÜR VORRICHTUNG ZUM EPITAKTISCHEM ZÜCHTEN VON OBJEKTEN UND SOLCHE VORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE69709955(D1)
申请公布日期
2002.02.28
申请号
DE19976009955
申请日期
1997.02.21
申请人
ABB RESEARCH LTD., ZUERICH
发明人
KORDINA, OLLE;FORNELL, JAN-OLOV;BERGE, RUNE;NILSSON, ROGER
分类号
H01L21/205;C23C16/32;C23C16/34;C30B25/00;C30B25/12;C30B29/36;C30B29/38;(IPC1-7):C23C16/32
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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