Ultraschallmotor, der sowohl dessen Längs- als auch dessen Torsionsvibrationen erfassen kann, und Verfahren zum Betrieb des Ultraschallmotors

摘要

Ein Stator (2) weist eine Längsvibrationserfassungselektrode (12) auf. Der Stator (2) weist außerdem ein piezoelektrisches Torsionsvibrationserfassungselement (8) und eine Torsionsvibrationserfassungselektrodenplatte (14) zur Erfassung von Torsionsvibrationen auf. Ein Spannungssignal (V1s) aus der Torsionsvibrationserfassungselektrodenplatte (14) oder ein Spannungssignal (V2s) aus der Längsvibrationserfassungselektrode (12) wird erfasst. Dann wird ein Antriebsspannungssignal (V1f oder V2f) zum Antrieb des Stators (2) in einer Selbsterregungs-Oszillationsantriebsschaltung (50, 60) derart erzeugt, dass eine tatsächliche Vibrationsfrequenz (fn) des Stators (2) im Wesentlichen mit einer Resonanzfrequenz (f1 oder f2) übereinstimmt. Danach wird das erzeugte Antriebsspannungssignal (V1f oder V2f) zwischen einer Antriebselektrode (11) und jede der ersten und zweiten Elektrodenplatten (9, 10) angelegt.