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发明名称 Ion implantation method
摘要
申请公布号 GB2347786(B) 申请公布日期 2002.02.13
申请号 GB20000004175 申请日期 2000.02.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA * TOSHIBA 发明人 KYOICHI * SUGURO;ATSUSHI * MURAKOSHI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317;H01L21/00 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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